平面磨床配备了激光干涉仪作为加工精度的在位测量系统，通过平面磨床台面运动和测量拖板横向运动，使激光干涉仪的镜头可以扫描所有加工面积。当平面磨床进行磨削加工时，测量横梁可以运动到加工范围以外。

超精密大尺寸光学玻璃平面磨床是针对国家重要光学工程行业面临重大需求而研究开发的，是具有国际水平的平面磨床超精密加工关键装备。该项目的开发成功，能够实现450X1200mm光学玻璃的高精度、高效率磨削，工件平面度可达3um，大大缩短了后续研磨抛光的时间，可满足激光武器、航空航天等领域对超精密大尺寸平面磨床平面玻璃的大批量需求，对我国天文科学、国家重点工程和军事装备的发展具有重要意义，并将进一步推动我国光学和激光领域制造装备的技术突破，提升我国相关领域的核心竞争力和创新能力。